微电机MEMS器件的优缺点对比：优势：1.MEMS器件的小尺寸优势，是其易于集成、重量轻、低功耗和高谐振频率特性的关键。2.MEMS技术易于与微电气或电子电路集成的优势，一方面促进了MEMS器件性能的提高，另一方面得以实现嵌入式机电一体化系统，因此MEMS技术成为了自供电和可穿戴电子产品的理想选择，3.制造可扩展性高。
因此大批量生产时，MEMS器件的单位成本非常低。挑战和难点：1.研发成本高，前期投入大：从MEMS器件的设计到原型机研发制备阶段都耗资不菲。MEMS设备需要在超净室完成，因此MEMS制备工厂前期设备成本投入巨大。另外，MEMS设备相关的质量表征和性能测试的设备也可能很昂贵。这也是MEMS器件不适合小众应用的主要原因。2.MEMS设备的制造仍然存在不少挑战。
1、Draper推出芯片级激光雷达集成MEMS/光学部件等优于现有设备目前，大多数的激光雷达系统依赖于机械扫描，可靠性差，成本高。相比之下，Draper最近研发出了一种芯片级激光雷达（LiDARonaChip），采用了已经获得专利的纯数字化MEMS（微电子机械系统）光学开关，以控制扫描光束。Draper的纯数字化开关非常坚固，能够适应严酷的汽车环境，比依赖于模拟光束控制的固态法更具优势。
2、怎么用485总线连接三个mems惯性传感器用485总线连接三个mems惯性传感器方法：1、接线：手拉手串联起来即可。2、设置串口参数：波特率、校验码、停止位等都需要一致。3、设置Modbus地址：每个设备地址不能冲突，这样用于区分不同设备和仪表ModbusRTU是主动轮训机制，支持一对多。RS485可以手拉手串联起来。一组RS485可以接多个，比如金鸽科技BL101可以接50个RS485（ModbusRTU）、50个网口（ModbusTCP）设备。
3、mems特征尺寸其特征尺寸一般在0.1μm～100μm范围。MEMS集成了当今科学技术的许多尖端成果，它将感知信息处理与执行机构相结合，改变了人类感知和控制外部世界的方式。从全球产业竞争格局来看，2018年中国MEMS传感器行业销售规模排名全球第一，占全球比重达23.82%，其次为美国(15.61%)、韩国(9.03%)和日本(8.01%)。
含义MEMS全称MicroElectromechanicalSystem，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。